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雙軸全自動劃片機

BT6366 精密砂輪劃片機

高效率高精度高性能

BT6366 精密砂輪劃片機主要用于半導(dǎo)體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、miniLED、太陽能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉(zhuǎn),將晶圓或器件沿切割道方向進行切割或開槽。 機型實現(xiàn)了晶圓從裝片、對準、切割、清洗到卸片的自動化操作。該機型配置了大功率對向式雙主軸,Z1和Z2軸上都配置了NCS和專用顯微鏡,大幅度減少對準和檢查時間,從而降低人工成本、提高生產(chǎn)效率。

400-007-1218 獲取定制化方案

產(chǎn)品詳情產(chǎn)品參數(shù)樣品案例

產(chǎn)品介紹

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)日益追求精度、效率和自動化的今天,一臺高性能、高穩(wěn)定性的劃片設(shè)備,不僅決定了產(chǎn)線的良率,也關(guān)系到整條供應(yīng)鏈的運行成本。BT6366 精密砂輪劃片機,正是為這一挑戰(zhàn)而生的專業(yè)級解決方案,全面覆蓋從晶圓裝片到成品卸片的每一個精密環(huán)節(jié)。


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一機多能,滿足多種高精度切割需求

BT6366 被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓、IC封裝(如QFN、DFN、BGA)、miniLED、太陽能電池片、電子基片、光學(xué)玻璃等行業(yè)的微細劃切任務(wù),尤其擅長對如下材料的穩(wěn)定加工:

* 硅(Silicon)
* 石英(Quartz)
* 氧化鋁 / 氧化鐵
* 藍寶石
* 砷化鎵(GaAs)
* 鈮酸鋰(LiNbO?)
* 光電玻璃、陶瓷等脆性材料

在高精度、高一致性、高產(chǎn)能的三重標準下,BT6366 憑借強大的核心配置和自動化設(shè)計,已成為國內(nèi)外客戶信賴的核心設(shè)備。

核心優(yōu)勢:重新定義切割效率與精度

? 全流程自動化,提高效率、減少人力

從裝片、視覺對準、切割、清洗再到卸片,BT6366 實現(xiàn)全自動化作業(yè),極大地降低人工干預(yù)。搭配智能程序控制系統(tǒng),支持批量任務(wù)快速切換,優(yōu)化整線生產(chǎn)節(jié)奏。

? 高性能對向雙主軸結(jié)構(gòu),提升產(chǎn)能與壽命

采用Z1/Z2 雙主軸對向配置,每個主軸均為高功率空氣靜壓驅(qū)動,具備更強負載與更小振動,有效延長刀具壽命并提高切割穩(wěn)定性。

? 配置NCS接觸檢測+高精度顯微鏡

每個主軸上配置有NCS自動接觸檢測系統(tǒng)與專用顯微鏡視覺系統(tǒng),大幅降低人工校準時間,提升對準精度,避免微米級誤差造成的不良率。

? 多材料適配能力,滿足復(fù)雜需求

從8英寸至12英寸晶圓,到各種定制化封裝材料,BT6366 都能靈活適應(yīng),不再為材料切換頻繁而煩惱,是一機多用、降低設(shè)備投資成本的利器。

應(yīng)用行業(yè)廣泛,覆蓋從芯片到終端的關(guān)鍵工藝

BT6366 在多個高精度加工行業(yè)中表現(xiàn)優(yōu)異,是眾多半導(dǎo)體封測廠、光電組件廠、LED封裝廠、陶瓷加工廠的首選設(shè)備。

產(chǎn)品參數(shù)

項目

產(chǎn)品型號

BT6366 精密砂輪劃片機


加工尺寸

≤?305mm/□260mm*260mm/定制

運動方式

雙軸對向式、全自動

X軸

最大速度

600mm/s

直線度

1.5μm全行程

Y軸

有效行程

310mm

定位精度

2μm全行程

分辨率

0.1μm

 Z軸

有效行程

40mm

單步步盡量

0.0001mm

最大刀輪直徑

60mm或定制

T軸

轉(zhuǎn)動角度范圍

380

主軸

最大轉(zhuǎn)速

60000rpm/min

額定輸出功率

直流(DC)1.5/1.8/2.4KW

 基礎(chǔ)規(guī)格

電源

三相AC220V/50Hz

壓縮空氣

0.5-0.6Mpa、Max420L/min

切削水

0.2-0.3Mpa、Max 12L/min

排風(fēng)流量

10m3/min

尺寸(mm)

1288X1618X1810

重量

2000kg


樣品案例

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