在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)日益追求精度、效率和自動化的今天,一臺高性能、高穩(wěn)定性的劃片設(shè)備,不僅決定了產(chǎn)線的良率,也關(guān)系到整條供應(yīng)鏈的運行成本。BT6366 精密砂輪劃片機,正是為這一挑戰(zhàn)而生的專業(yè)級解決方案,全面覆蓋從晶圓裝片到成品卸片的每一個精密環(huán)節(jié)。
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一機多能,滿足多種高精度切割需求
BT6366 被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓、IC封裝(如QFN、DFN、BGA)、miniLED、太陽能電池片、電子基片、光學(xué)玻璃等行業(yè)的微細劃切任務(wù),尤其擅長對如下材料的穩(wěn)定加工:
* 硅(Silicon)
* 石英(Quartz)
* 氧化鋁 / 氧化鐵
* 藍寶石
* 砷化鎵(GaAs)
* 鈮酸鋰(LiNbO?)
* 光電玻璃、陶瓷等脆性材料
在高精度、高一致性、高產(chǎn)能的三重標準下,BT6366 憑借強大的核心配置和自動化設(shè)計,已成為國內(nèi)外客戶信賴的核心設(shè)備。
核心優(yōu)勢:重新定義切割效率與精度
? 全流程自動化,提高效率、減少人力
從裝片、視覺對準、切割、清洗再到卸片,BT6366 實現(xiàn)全自動化作業(yè),極大地降低人工干預(yù)。搭配智能程序控制系統(tǒng),支持批量任務(wù)快速切換,優(yōu)化整線生產(chǎn)節(jié)奏。
? 高性能對向雙主軸結(jié)構(gòu),提升產(chǎn)能與壽命
采用Z1/Z2 雙主軸對向配置,每個主軸均為高功率空氣靜壓驅(qū)動,具備更強負載與更小振動,有效延長刀具壽命并提高切割穩(wěn)定性。
? 配置NCS接觸檢測+高精度顯微鏡
每個主軸上配置有NCS自動接觸檢測系統(tǒng)與專用顯微鏡視覺系統(tǒng),大幅降低人工校準時間,提升對準精度,避免微米級誤差造成的不良率。
? 多材料適配能力,滿足復(fù)雜需求
從8英寸至12英寸晶圓,到各種定制化封裝材料,BT6366 都能靈活適應(yīng),不再為材料切換頻繁而煩惱,是一機多用、降低設(shè)備投資成本的利器。
應(yīng)用行業(yè)廣泛,覆蓋從芯片到終端的關(guān)鍵工藝
BT6366 在多個高精度加工行業(yè)中表現(xiàn)優(yōu)異,是眾多半導(dǎo)體封測廠、光電組件廠、LED封裝廠、陶瓷加工廠的首選設(shè)備。
項目 | 產(chǎn)品型號 | BT6366 精密砂輪劃片機 |
加工尺寸 | ≤?305mm/□260mm*260mm/定制 | |
運動方式 | 雙軸對向式、全自動 | |
X軸 | 最大速度 | 600mm/s |
直線度 | 1.5μm全行程 | |
Y軸 | 有效行程 | 310mm |
定位精度 | 2μm全行程 | |
分辨率 | 0.1μm | |
Z軸 | 有效行程 | 40mm |
單步步盡量 | 0.0001mm | |
最大刀輪直徑 | 60mm或定制 | |
T軸 | 轉(zhuǎn)動角度范圍 | 380 |
主軸 | 最大轉(zhuǎn)速 | 60000rpm/min |
額定輸出功率 | 直流(DC)1.5/1.8/2.4KW | |
基礎(chǔ)規(guī)格 | 電源 | 三相AC220V/50Hz |
壓縮空氣 | 0.5-0.6Mpa、Max420L/min | |
切削水 | 0.2-0.3Mpa、Max 12L/min | |
排風(fēng)流量 | 10m3/min | |
尺寸(mm) | 1288X1618X1810 | |
重量 | 2000kg |
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